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一种Cu/Al叠层金属网格柔性透明电极及制备方法

发明专利有效
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§ Ⅰ

卷宗概要

发明人

韩涛; 舒友荣; 邸永江; 何辉超; 杨倩; 江寒梅; 王文荣

IPC 分类

H10F 77/20 (2025.01)H10F 71/00 (2025.01)H10H 29/80 (2025.01)H10K 59/80 (2023.01)H10K 30/82 (2023.01)H10H 29/01 (2025.01)H10K 71/60 (2023.01)H10K 71/00 (2023.01)

本发明涉及柔性透明电极技术领域,具体涉及一种Cu/Al叠层金属网格柔性透明电极及制备方法:包括柔性基底、设于柔性基底上的铜层和设于铜层上的铝层,位于外层的铝层在空气中自发形成一层厚度为2–5nm的AlO钝化层,AlO钝化层能有效阻隔氧气和水分向内部渗透,从而从根本上抑制了铜层在潮湿或高温环境下的氧化,确保了电极电性能的长期稳定,与此同时,铜层150–250nm厚度的设置,提供优异的导电性,实现低方阻;网格状结构则在保证高导电通路的同时,维持了电极的高透光率。最终,该结构在厚度为50–200μm的柔性透明基底的支撑下,兼具了优异的抗氧化能力、高透光率、低方阻与柔性稳定性,满足了新一代柔性光电子器件对电极性能的苛刻要求。