太阳能电池及其制备方法

本发明涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种太阳能电池及其制备方法；该太阳能电池包括衬底、以及形成于衬底的复合钝化膜，复合钝化膜包括层叠设置的铪氧化层和铝氧化层。该太阳能电池的制备方法包括：采用空间原子沉积的方法在衬底上形成铪氧化层和铝氧化层。该太阳能电池能够有效地提高抗紫外老化的能力，并且具备良好的的透光性，确保足够的有效光入射；同时，还具备良好的钝化性能，有效地改善寄生吸收问题，改善对光的吸收造成不良影响的问题，进而确保太阳能电池具备良好的电性能。