晶圆卡盘冷却站分离装置

本发明涉及临时晶圆键合技术领域，具体涉及一种晶圆卡盘冷却站分离装置，主要解决现有冷却站分离装置晶圆对与晶圆卡盘分离难度较大的技术问题。本装置包括冷却机构、测温机构、驱动机构、正压分离机构、吹气分离机构和提升机构，冷却机构包括支撑件和冷却板，冷却板用以定位吸附晶圆卡盘的内盘体，测温机构用以检测晶圆卡盘的外环框温度，驱动机构用以拨动晶圆卡盘的预压杆，正压分离机构用以对接晶圆卡盘的吸附通道，吹气分离机构用以向晶圆卡盘与晶圆对之间吹气，提升机构包括吸嘴和升降驱动件。本装置通过降温、解除压紧、边沿分离、破坏范德华力、提升分离等多方面配合，能够实现晶圆对与晶圆卡盘的安全分离。