一种晶圆转运机械手

本申请公开了一种晶圆转运机械手，包括基座、活动柱以及安装于活动柱顶端的晶圆转运组件，活动柱包括固定连接的第一柱体与第二柱体，第一柱体底端与第一驱动机构固定连接；晶圆转运机械手还包括固定安装于第二驱动机构的支撑套筒以及设于第一柱体外侧的第一支撑轴承，支撑套筒套设于第一柱体外侧，第一支撑轴承位于第一柱体与支撑套筒之间并分别与第一柱体及支撑套筒抵接，第一支撑轴承与第一柱体底部间隔布置。第一支撑轴承能直接与第一柱体、支撑套筒形成可靠抵接，通过支撑套筒将侧向约束力传递至第二驱动机构，再经第二驱动机构传导至基座，形成完整的力传递路径，有效抵消偏心力矩可能对活动柱产生的倾斜。