一种搬运装置及晶圆存储装置

本发明涉及晶圆搬运设备技术领域，本发明提供了一种搬运装置及晶圆存储装置，其中一种搬运装置用于搬运晶圆盒或晶圆片，基础主体用于在机械臂机构的带动下进行运动；晶圆盒搬运机构用于紧固晶圆盒；晶圆片搬运机构用于紧固晶圆片；驱动件滑动设于基础主体上。将晶圆盒搬运机构和晶圆片搬运机构设置在同一个基础主体上，实现了两种搬运功能的集成，有效减小搬运装置的体积，提高空间利用率。晶圆盒搬运机构和晶圆片搬运机构均具备闲置状态和作业状态，能够在驱动件的作用下切换。两种搬运机构不会同时展开，避免空间浪费，同时降低部件干涉的风险。通过上述技术方案，解决了相关技术中现有的搬运装置占用空间大的技术问题。