基板表面动态检测及平坦化处理方法

本发明涉及基板表面动态检测技术领域，并公开了基板表面动态检测及平坦化处理方法，包括步骤一、基板准备：将待处理的基板放置在真空腔体内的预定位置，确保真空腔体内的真空度维持在1大气压以下，以保证处理环境的稳定性；步骤二、设置离子枪装置：启动离子枪装置，并根据处理需求调整其工作参数，包括气体种类、流量、供应电能的功率大小，确保离子枪装置正常工作，并产生稳定的气体离子束。本发明通过动态光泽检测，可以在蚀刻过程中实时监控金属线路的光泽度，从而避免过度蚀刻或蚀刻不足，减少了不必要的处理时间和材料浪费，提高了整体处理效率。