双面研磨装置及双面研磨方法

为了提供能够抑制最终研磨结束时的工件形状偏离目标形状，可得到期望的工件形状的双面研磨装置，基于厚度测量器（20）的测量结果控制研磨机（10）的控制部（30）具有：第一学习器（31），学习主研磨条件、外周平坦度和面内平坦度之间的相关关系；第二学习器（32），学习终点研磨条件、主研磨停止时的面内平坦度的变化程度、主研磨停止时的外周平坦度的变化程度和终点研磨过程中的外周平坦度的变化量之间的相关关系；主研磨条件修正部（33），以将根据第一学习器（31）的学习结果得到的面内平坦度的修正目标值和外周平坦度的目标值输入第一学习器（31）而得到的主研磨条件，对修正时刻的主研磨条件进行修正；以及主研磨停止条件设定部（34），使用根据第二学习器（32）的学习结果得到的外周平坦度的变化量设定主研磨停止条件。