具有空间变化透射的光瞳滤光器

一种检验系统包含定位于所述检验系统的成像光瞳中的光瞳滤光器。所述光瞳滤光器经配置以提供空间变化强度透射。所述光瞳滤光器是玻璃板，所述玻璃板的表面上安置有经图案化层。所述检验系统使用所述光瞳滤光器引入空间变化强度透射。