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衬底支撑件
发明专利有效
13权利要求 · 7 独立
§ Ⅰ
卷宗概要
申请人
ASML荷兰有限公司
发明人
D·J·F·黑克; N·J·J·罗塞特; P·马斯特隆内; M·拉马努金; J·A·M·阿默拉安; J·N·丰塞卡儒尼奥尔; 黄壮雄; T·N·M·西格; D·德万吉; D·蓬特托尼; A·M·贾伦福斯; D·米隆; H·马夸特; I·康斯坦丁努斯; G·L·加托比焦
IPC 分类
G03F 7/00 (2006.01)H10P 72/78 (2026.01)H10P 72/76 (2026.01)
本文公开一种衬底支撑件（200），所述衬底支撑件被配置成支撑衬底（W），所述衬底支撑件包括：上表面（225）；多个支撑构件（241），所述多个支撑构件在所述上表面上方延伸；抽取槽沟（230），所述抽取槽沟由第一周向壁和第二周向壁限定，其中，所述第一周向壁和所述第二周向壁在所述上表面上方延伸；抽取开口（217），所述抽取开口在所述抽取槽沟内形成在所述上表面中；以及一个或更多个流体保留特征（250），所述一个或更多个流体保留特征形成在所述抽取槽沟内。