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引导扩散装置支架及扩散装置保持的方法
发明专利有效
20权利要求 · 2 独立
§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
M·V·史密斯; S·D·埃格刚; M·A·富勒
IPC 分类
H10P 72/10 (2026.01)
在衬底容器的内部设置若干支架以接纳及保持扩散装置。所述支架包含具有第一内部截面区域的接纳器及具有第二内部截面区域的保持区,其中所述第一内部截面区域大于所述第二内部截面区域。所述支架可包含在所述支架的与所述第一接纳器相对的端上的第二接纳器,使得所述支架可倒转以在所述衬底容器两侧中的任一侧上使用。当扩散装置从所述衬底容器的外部插入时,所述支架可接纳所述扩散装置。