一种PI膜微量供液腐蚀去除设备

本发明涉及触摸屏生产自动化设备技术领域，特别涉及一种PI膜微量供液腐蚀去除设备，包括用于承载玻璃基板的清洁平台、用于形成相对运动的运动机构、PI清洁执行模组、无尘布输送模组和微量供液模组。微量供液模组采用陶瓷阀芯微量注射泵；PI清洁执行模组设有陶瓷清洗头和清洁压力调整组件，陶瓷清洗头的底部设有出液口及与出液口连通的横向排液槽；无尘布张紧设置于陶瓷清洗头与玻璃基板之间。ACF去除剂经定量供液和横向分散后浸润无尘布，并在稳定压力的往复摩擦作用下去除FPC绑定区域的PI绝缘膜。设备还可设置自动换布、视觉检测和防滴漏结构，以提高批量清洁一致性。