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基座组件以及化学气相沉积装置
发明专利未知
10权利要求 · 2 独立
§ Ⅰ
卷宗概要
IPC 分类
C23C 16/458 (2006.01)C30B 25/12 (2006.01)C30B 29/36 (2006.01)
本发明涉及一种基座组件以及化学气相沉积装置，更详细地涉及一种即使基座根据温度变化膨胀以及收缩，也可以连接于基座而恒定地供应悬浮气体的基座组件以及化学气相沉积装置。
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