一种金属散热产品的蚀刻深度测量方法及系统

一种金属散热产品的蚀刻深度测量方法及系统，涉及精密测量技术领域。方法包括：根据金属散热产品的蚀刻工艺布局，确定多个测量区域，每个所述测量区域对应一个蚀刻区与非蚀刻区之间的边界；对于各所述测量区域，在所述边界两侧分别选取位于所述非蚀刻区一侧的第一测量点，以及位于所述蚀刻区一侧的第二测量点；基于所述第一测量点和所述第二测量点对应的金属表面高度，得到对应测量区域的蚀刻深度。通过采用本申请，定位多个测量区域，覆盖关键工艺区域，减少无效冗余测量，提升测量精度与结果可靠性。