竖直电场激励体声波谐振器件

本发明涉及体声波谐振器技术领域，特别涉及一种竖直电场激励体声波谐振器件，包括从下至上依次层叠的底电极、压电层和顶电极，所述压电层为双层结构或单层结构，还包括金刚石薄膜，所述压电层采用双层结构时，金刚石薄膜设置在底电极与压电层的下表面，和/或设置在顶电极与压电层之间，和/或设置在压电层中的上下层之间；所述压电层采用单层结构时，金刚石薄膜设置在底电极与压电层的下表面，和/或设置在顶电极与压电层之间。本发明提供一种带外寄生模式得到有效抑制，带内横向杂散波得到大幅削弱、谐振频率向高频段迈进的同时品质因数实现显著拉升，且工作稳定性、晶圆级一致性和成品率均得到明显提升的竖直电场激励体声波谐振器件。