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半导体器件及其制造方法、电子设备
发明专利未知
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§ Ⅰ
卷宗概要
IPC 分类
H10B 12/00 (2023.01)
本申请提供了一种半导体器件及其制造方法、电子设备。该半导体器件的制造方法包括:在衬底上方依次形成多个同层的电容、多个同层的第一源漏极、多个同层的第一信号线以及多个同层的第二信号线;第一源漏极对应连接于电容上方;多个第一信号线各自沿第一方向延伸;多个第二信号线各自沿第二方向延伸;形成多个第二通孔;基于第二通孔,横向刻蚀第一信号线,形成第一凹槽;在第一凹槽内形成第一栅绝缘结构;在多个第二通孔内形成依次覆盖并填充第二通孔的半导体结构、第二栅绝缘结构和第二栅极,形成多个晶体管;形成第三信号线,连接多个晶体管的第二栅极。本申请实施例可有效提高半导体器件的性能。