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掩膜板、蒸镀系统
发明专利未知
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§ Ⅰ
卷宗概要
IPC 分类
C23C 14/04 (2006.01)C23C 14/24 (2006.01)
本申请公开了一种掩膜板和蒸镀系统,掩膜板包括掩膜框、第一掩膜层和第二掩膜层;掩膜框形成有镂空区域;第一掩膜层包括多个第一掩膜条,第一掩膜条横跨镂空区域;第二掩膜层与第一掩膜层层叠设置;第二掩膜层包括多个第二掩膜条,第二掩膜条横跨镂空区域;第二掩膜条与第一掩膜条交叉设置;第二掩膜条与第一掩膜条彼此独立;相邻的两个第一掩膜条与相邻的两个第二掩膜条配合围设形成的区域定义为蒸镀区域;多个第一掩膜条与多个第二掩膜条配合形成多个蒸镀区域;蒸镀区域的轮廓形状被配置为与待蒸镀显示面板的轮廓相同。通过上述设置,第一掩膜条和/或第二掩膜条可以根据不同的待蒸镀显示面板的需求进行更换,有利于提高物料的利用率。
§ Ⅵ
专利附图
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