一种应用于生物蛋白检测的类EIT效应太赫兹超材料传感器件结构设计

本发明公开一种基于双明亮模式耦合实现类电磁诱导透明（EIT）效应的太赫兹超材料生物蛋白传感器件，属于太赫兹超材料传感技术领域。器件为双层堆叠结构，由图案化金属铝谐振层与半导体电介质基底构成，单元尺寸为90μm×80μm。顶层集成三种谐振结构：X轴向与Y轴向双C型开口环，以及中心四开口方形环。基于EIT与LC等效谐振机理，通过两种明亮模式的高效耦合，稳定激发太赫兹波段类EIT效应。垂直入射时，器件激励出高Q值、高灵敏度的谐振峰，对微量生物蛋白浓度变化引起的介电扰动具有显著的幅值和频率偏移响应，实现精准检测。本器件可广泛适用于生物医学传感及痕量有毒物质检测等领域，应用场景广泛，检测精度优异。