在反应器的反应室中支撑衬底的设备和包括其的反应室

一种用于在外延反应器的反应室中支撑衬底的设备，包括：具有第一面和第二面的盘形元件，所述盘形元件适于围绕其轴线(z)旋转；以及与所述盘形元件同轴的轴，其与所述盘形元件连接或成一体，并且在所述第二面处具有第一端；所述轴在其第二端具有至少一个凹部，该凹部的旋转适于由非接触式测量装置检测。