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세정 장치 및 이를 이용한 세정 방법

发明专利patent.status.granted
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§ Ⅰ

卷宗概要

发明人

김재풍; 이재훈; 강혁; 안창욱; 임한글; 최병진

申请日

Apr 6, 2022

公开日

Dec 31, 2025

IPC 分类

H10K 71/H10K 99/

CPC 分类

H10K71/H10K71/166