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№ KR1029053860000B1
档案
세정 장치 및 이를 이용한 세정 방법
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发明专利
patent.status.granted
6
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§ Ⅰ
卷宗概要
申请人
专利申请人记载
发明人
김재풍; 이재훈; 강혁; 안창욱; 임한글; 최병진
申请日
Apr 6, 2022
公开日
Dec 31, 2025
IPC 分类
H10K 71/
H10K 99/
CPC 分类
H10K71/
H10K71/166
外部资源
Google Patents
Espacenet