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감활성광선성 또는 감방사선성 수지 조성물, 감활성광선성 또는 감방사선성막, 패턴 형성 방법, 및 전자 디바이스의 제조 방법
发明专利patent.status.granted
§ Ⅰ
卷宗概要
IPC 分类
G3F 7/4C8F 212/14C8F 220/26G3F 7/38G3F 7/39G3F 7/20H1L 21/27
CPC 分类
G3F7/4C8F212/14C8F220/26G3F7/45G3F7/382G3F7/397G3F7/20H1L21/274