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금속 함유막 형성용 중합체, 금속 함유막 형성용 조성물 및 패턴 형성 방법

发明专利patent.status.granted

§ Ⅰ

卷宗概要

申请人

发明人

고바야시 나오키; 이와모리 쇼헤이; 고리 다이스케

申请日

Dec 18, 2023

公开日

Dec 31, 2025

IPC 分类

G3F 7/4C7F 7/22G3F 7/8G3F 7/38G3F 7/9G3F 7/11H1L 21/27H1L 21/311H1L 21/3213

CPC 分类

G3F7/42G3F7/48G3F7/85G3F7/38G3F7/92G3F7/11H1L21/274H1L21/332H1L21/337H1L21/31144H1L21/32139

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