轨道真空周转箱
本申请涉及真空转运领域,提供一种轨道真空周转箱,包括箱体、密封组件、第一转运组件、第二转运组件和取料组件;箱体相对两侧均设有对接口,对接口用于与各工位设备对接;密封组件设于箱体并用于启闭对接口;第一转运组件与箱体连接并用于驱动箱体移动;第二转运组件设于箱体内并用于带动物料在两个对接口之间转运;取料组件设于箱体上并用于带动物料在第二转运组件和对应工位设备之间转运。本申请解决了转运设备难以保持真空度和温度稳定,且转运效率较低的问题。
APPLICANTS
浏览来源中的申请人名称,以及导入专利中保留的原始名称字段。
这里按名称检索,不代表已核验的法律主体。同名可能指不同个人或组织;别名和历史名称不自动合并。
此页精确匹配完整原始名称字段。字段可能包含多个申请人或其他记载主体角色,名称边界和法律主体尚未核验;保留全部标点,不进行拆分。
3 条已索引专利记录