原始名称记载: FEI 公司

本发明涉及一种时间分辨带电粒子显微镜检查的方法，所述方法包括提供用于带电粒子显微镜检查的样品的步骤，其中所述样品包含第一粒子和第二粒子，并且其中所述样品包含在所述第一粒子与所述第二粒子之间的阻隔材料。所述方法进一步包括将所述阻隔材料的至少一部分液化以使所述第一粒子与所述第二粒子之间能够发生相互作用的步骤。最后，可以在带电粒子显微镜中观察到所述第一粒子与所述第二粒子之间产生的相互作用。

用于计量的基于路径的轮廓提取。本文所述的实施方案涉及一种用于图像轮廓线提取的过程。一种系统可包括存储计算机可执行组件的存储器和执行计算机可执行组件的处理器。这些计算机可执行组件可包括：标识组件，该标识组件标识在像素化图像的区域之间应用的轮廓线；和细分组件，该细分组件基于对该轮廓线的轮廓线像素的解析来将该轮廓线细分为一组屏障线。在一个或多个实施方案中，该解析可基于与这些轮廓线像素接续的相邻像素的数量。

用于带电粒子显微镜法的减法缺陷定位。提供了用于促进用于带电粒子显微镜法的减法缺陷定位的系统/技术。在各种实施方案中，一种系统可访问由带电粒子显微镜捕获的图像，其中该图像描绘样本。在各种方面，该系统可基于执行第一机器学习模型来定位该样本的感兴趣结构的一个或多个有缺陷实例化，该第一机器学习模型被训练成定位该感兴趣结构的无缺陷版本。