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本发明涉及一种氧气泄漏监测实时监测方法及系统，属于半导体工艺技术领域，包括下列步骤：步骤一：在反应腔中设置氧气传感器；步骤二：对反应腔进行抽真空，并执行生产工序；步骤三：氧气传感器采集氧气数据并上传至控制模块，控制模块获取生产工序中狭缝阀开闭的时间戳，统计狭缝阀打开并关闭时的时间段，记为切割时间段；步骤四：控制模块生成氧气数据随时间变化的序列，并将切割时间段以内的数据剔除；步骤五：控制模块判断剔除后的序列中氧气浓度是否超过阈值，并在超过阈值时发出警报。

本发明属于显示面板制造设备技术领域，公开了一种显示面板传输送线导静电装置，包括：导电插件，具有第一端和第二端，所述第一端配置为插入可转动的传输轴内部；接地端子，与所述导电插件的第二端转动连接；弹性限位机构，设置于所述导电插件的第一端，包括相互配合的外弹性件和内弹性件；所述外弹性件弹性配合于所述导电插件与所述传输轴之间，以提供使所述导电插件固定于所述传输轴内部的胀紧力；所述内弹性件弹性配合于所述导电插件与所述外弹性件之间，且所述内弹性件被配置为能够沿所述导电插件的轴向移动，以调节所述外弹性件的所述胀紧力；当内弹性件沿轴向移动时，通过改变其向外弹性件施加的弹性内力的大小来调节所述胀紧力。

本发明提供了基于双目视觉自适应的玻璃硬盘双层真空包装方法及系统，属于光存储器件智能制造技术领域，针对现有玻璃硬盘包装人工依赖度高、固定参数无法适配批次间微米级尺寸公差、包装合格率低、质量追溯能力不足的问题，本发明采用双目立体视觉采集制程CST载具及内部玻璃硬盘的三维轮廓特征，与特征数据库自适应匹配，自动输出适配的周转CST规格、真空袋型号与抽真空工艺参数；自动化完成载具批量转运、姿态校准、内层真空封装、追溯贴标、外层真空封装全流程作业，同步建立全流程质量追溯档案。本发明实现载具级无人化包装，兼容批次尺寸偏差，提升了单线产能和包装合格率，显著提升生产效率与包装可靠性。