原始名称记载: FEI公司

一种构建最佳设置预测模型的方法，包括：(I)将一个或多个显微镜操作参数设置为相应的初始值；(II)将带电粒子束引导到第一已知样品类型的标本上，并使用最新设置的显微镜操作参数对标本进行成像或分析，同时检测来自标本的发射；(III)反复执行：(i)改变一个或多个操作参数中至少一者的值；(ii)将带电粒子束引导到第一已知样品类型的不同标本上，并使用最新设置的显微镜操作参数对不同标本进行成像或分析，同时检测来自不同标本的发射；以及(iii)记录显微镜操作参数的值，并记录一个用于衡量来自不同标本中已检测发射的值；以及(IV)构建并存储涉及第一已知样品类型的、在至少一个表示显微镜操作参数的变量与表示已检测发射的变量之间的数学关系。

一种用于构建操作设置预测模型的方法，包括：(I)将一个或多个显微镜操作参数设置为各自的初始值；(II)将带电粒子束引导到已知样品类别的标本的一个位置上，并使用最近设置的显微镜操作参数对该位置进行成像或分析，同时检测来自该标本发射的信号；(III)重复执行以下步骤：(i)改变所述一个或多个操作参数中至少一个参数的取值；(ii)将带电粒子束引导到该位置上，并使用最近设置的显微镜操作参数对该位置进行成像或分析，同时检测来自该位置的发射信号；以及(iii)记录显微镜操作参数的值，并且记录表征该位置检测发射信号的测量值；以及(IV)构建并存储一个关于已知样本类别的数学关系，该关系至少包含表示显微镜操作参数的变量与表示检测发射信号的变量之间的关联。