原始名称记载: 启迪原子私人有限公司

本发明涉及一种通过强化学习来自主设计半导体制造工艺系统的方法和系统。具体地，本发明涉及一种利用子系统和系统数字孪生自主设计半导体制造工艺系统的系统和方法。通过AI机器的AI引擎，利用策略神经网络和MCTS程序，通过强化学习方法来探索庞大的工艺配方参数空间，以确定出最优的工艺配方。该AI引擎还可识别性能瓶颈，并通过重新设计工艺系统中的相关子系统来消除这些瓶颈。

本发明公开了一种用于半导体工艺系统的控制模块，其利用强化学习(RL)算法自主生成和调整工艺配方。所述控制模块具有全面的系统数字孪生，包括子系统数字孪生、腔室等离子体数字孪生和工艺数字孪生，并采用神经网络模型以提高效率。通过使用策略神经网络和蒙特卡洛树搜索(MCTS)，本发明可以根据来自各种传感器的校准状态数据进行实时调整，从而提高制造工艺的精度和适应性。

本发明公开了一种基于强化学习的自主生成半导体工艺系统工艺配方的方法和系统。所述系统包含一个全面的数字孪生体，涵盖各子系统数字孪生体、腔室等离子体数字孪生体和工艺数字孪生体，并采用神经网络模型提升效率。通过将策略神经网络与MCTS相结合，所述系统可以自主实现工艺配方中的优化权衡。