№ CN121368226A发明专利
有效微型复合气密光电组件
本发明一种微型复合气密光电组件,包括:基底:使用硅电路板作为基底,硅电路板提供高密度电路互连、集成焊接面,通过半导体制造和/或微纳加工,形成用于驱动、调控以及检测光信号的基础平台;中间结构体:使用陶瓷环作为中间结构体,陶瓷环一方面起到机械定位和支撑作用,另一方面充当热隔离以及应力缓解元件;陶瓷环具有高硬度、低热膨胀系数和优异的热稳定性,可提供稳定的气密封接合面,确保封装后的内部组件不受外界温湿度影响;上层部分:微透镜玻璃盖板用于实现精密光学耦合以及最终的环境保护;采用低损耗光学玻璃,通过微加工形成微透镜阵列,精确聚焦或准直硅板上集成的激光器的光信号,与外部光纤或者其他光电元件实现高效对接。
❖江苏奥雷光电有限公司张颉; 赵洁; 黄锐; 罗超; 雷蕾§ 1/9 权利要求H10F 77/50 (2025.01), H10F 55/255 (2025.01), H10F 77/60 (2025.01) +311