上海正帆科技股份有限公司

本申请提供了一种气体输送设备物料清单的自动生成方法，属于物料管理技术领域，通过多维分层编码实现输入气体介质后自动输出唯一适配设备系列，彻底替代人工逐条核对参数，大幅提升选型效率；采用配置参数表标记语法统一管理配置互斥、级联约束，规避人为误选；通过生成可逆配置摘要码打通全链路数据联动；通过执行气体兼容性安全筛选、品牌匹配筛选、配套零件自动关联展开、电控标识数量自动计算，四阶段物料筛选，消除气体安全隐患；从而解决现有技术中选型流程碎片化、物料筛选依赖人工、以及气体兼容性校验无法保证完整性的技术问题。

本发明公开了一种类针状Pb催化剂及其制备方法和电催化产砷烷的应用，所述的催化剂通过原位电化学修饰，使载体表面原位生长纳米级类针尖Pb结构，该结构有利于提高催化剂的比表面积，增加与反应底物的吸附，表现出了较好的电催化产砷烷性能，同时该结构降低了砷阴极泥的产生，具有良好的稳定性。本发明的催化剂制备简单，过程绿色，反应溶液可以进行重复利用，避免废液排放带来的环境压力，因此也具有生产成本低的特点，对电催化砷烷的制备有重要的指导意义，具有较大的应用前景。

本发明公开了半导体工艺气体短程高纯输送控制方法，涉及半导体制造技术领域，包括以下步骤：采集半导体外延工艺的多种工艺气体入口流量、入口压力及初级纯度数据，将多种工艺气体在进入机台侧前统一限定在预设范围内，并分别导入对应进气路径，为机台侧终端净化处理建立一致输入条件。本发明通过将终端净化位置设置于机台侧并缩短输送距离，使气体在完成净化后快速进入反应区域，减少输送过程中的杂质引入。同时通过连续平滑流动控制与停留时间压缩，避免气体滞留并降低杂质释放概率，从而在全过程中维持高纯状态，提升外延工艺稳定性与产品质量。