原始名称记载: 株式会社神钢科研

本发明的形状测量装置是包括图像处理部的装置，所述图像处理部基于板状的测量对象的影图像来求出所述测量对象的轮廓形状，在测量的情况下，所述测量对象被配置在照明部与摄像部之间，利用所述摄像部拍摄通过从所述照明部照射出的照明光而形成的所述测量对象的影子，从而生成所述测量对象的影图像，在校正的情况下，在所述照明部与所述摄像部之间配置减光滤光部，基于所述摄像部经由减光滤光部（2）接收到的从所述照明部照射出的照明光的接收光量，校正从所述照明部照射的照明光的光量。

本发明提供一种表面高度分布测量装置，其用于测量板状的测量对象的表面高度分布，并且包括：非接触距离测量部，非接触地测量自该非接触距离测量部至所述测量对象的表面的距离；移动部，使所述测量对象和所述非接触距离测量部相对地移动；以及，板状构件，被设置在如下位置：在由所述非接触距离测量部进行测量时，与所述测量对象非接触且平行于所述测量对象，并且，在从相对于所述测量对象的表面垂直的方向观察时，覆盖所述测量对象的至少局部。据此，与以往技术相比，能够更精度良好地进行测量。