原始名称记载: 深圳市韵腾激光科技有限公司

本申请涉及到激光精密加工与光学成像技术领域，公开了一种基于同轴成像反馈的校正像差激光加工或成像系统和方法，其中系统包括激光源组件、波前调制器、物镜、同轴成像反馈组件、控制单元及电动位移台；激光源组件产生激光束，经波前调制器调制后由物镜聚焦至样品内部，同轴成像反馈组件实时采集焦点区域反馈图像，控制单元接收图像并计算清晰度评价指标，寻优折射率失配像差物理模型关键参数，据此计算补偿相位并发送至波前调制器，电动位移台固定样品。本发明通过实时同轴成像反馈动态调整补偿量，确保激光高效聚焦，提升加工质量与重复性及成像分辨率与信噪比，满足高精度、高稳定性需求。