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一种多晶硅流化床反应器
发明专利有效
8权利要求 · 1 独立
§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
李仕权; 李星; 向玉芳
IPC 分类
B01J 8/24 (2006.01)C01B 33/035 (2006.01)B01J 8/18 (2006.01)B08B 9/087 (2006.01)
本发明公开了一种多晶硅流化床反应器,本发明涉及多晶硅制造技术领域,包括反应筒,所述反应筒的底端侧壁固定连接有多个支撑柱,多个所述支撑柱的一端均固定连接有底板。本发明能够在需要对颗粒状多晶硅进行反应生产时,利用第一气孔与第二气孔向反应筒内不断吹气,使反应筒内的反应气体在反应筒内四处分散,便于与颗粒状多晶硅之间进行反应,并且能够在反应筒完成工作后,利用检测板对反应筒内壁是否沉积硅进行检测,在检测到反应筒内壁沉积硅的位置后,利用处理板将反应筒内壁沉积硅刮掉,避免工作人员还需要定期对反应器内壁是否沉积硅进行检测,之后再对反应器内壁所沉积的硅进行清理,影响反应器连续运行的时间。
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