基于静电吸附的真空腔室实时除颗粒装置

本发明涉及一种基于静电吸附的真空腔室实时除颗粒装置，包括等离子发生器、供电电源、用于布置在真空腔室内侧壁上的第一静电集尘组件和用于布置在真空腔室的样品架附近的第二静电集尘组件，其中第一静电集尘组件包括第一电极板和第二电极板，以及绝缘收集板，在第一电极板和第二电极板之间形成第一静电场；第二静电集尘组件包括第一电极环和用于第二电极环，第一电极环和第二电极环的上端面上均开设有环向延伸的集尘槽，第一电极环和第二电极环之间形成第二静电场。持续清除侧壁和样品架周围的颗粒，具有显著提升薄膜加工质量及设备运行稳定性的优点。