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一种配置声学孔的背腔发射型超声波换能器及避障系统
发明专利有效
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§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
李国强; 衣新燕; 千英达
IPC 分类
B06B 1/06 (2006.01)G01S 15/88 (2006.01)G01S 15/93 (2020.01)G01S 15/08 (2006.01)G01S 7/52 (2006.01)G01S 7/521 (2006.01)G01S 7/539 (2006.01)
本发明公开了一种配置声学孔的背腔发射型超声波换能器及避障系统,属于超声波换能器技术领域,包括从下往上依次层叠的顶电极、压电层、底电极和支撑层,以及衬底,衬底和支撑层构成开口朝上的背腔;顶电极、压电层、底电极和支撑层构成的有源区中央设置有沿上下方向贯穿有源区的声学孔,声学孔与背腔连通。本发明的超声波换能器旨在解决传统薄膜前向发射的不足,显著提升了超声波换能器的探测性能和应用灵活性。
§ Ⅵ
专利附图
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