一种阶梯声学孔超声波换能器及超声波探测器

本发明公开了一种阶梯声学孔超声波换能器及超声波探测器，属于超声波换能器技术领域，包括设置有空腔的衬底以及设置在衬底上表面且位于空腔正上方的多层结构，多层结构包括依次堆叠的种子层、底电极、压电层和顶电极，衬底设置有声学孔，声学孔沿上下方向贯通衬底并连通空腔；多层结构沿声学孔周向环绕设置且与衬底共同构成阶梯结构，阶梯结构的截面形状为开口往上逐渐扩大的阶梯形状，衬底与声学孔相邻的部分作为阶梯结构的第一阶梯。本发明的阶梯声学孔超声波换能器旨在解决薄膜声学孔在振动过程中因应力集中导致薄膜断裂的问题，实现降低薄膜断裂的风险，达到提高器件使用寿命的效果。