一种陶瓷基板清洗设备及清洗方法

本发明提出了一种陶瓷基板清洗设备及清洗方法，所述的清洗设备包括清洗腔体、传输机构、多段式清洗机构、杂质收集机构、清洗剂循环机构和控制系统，多段式清洗机构包括预处理组件、主清洗组件、漂洗组件及干燥组件。本发明的清洗设备可实现陶瓷基板从预处理、主清洗、漂洗到干燥的全流程自动化作业，无需人工干预，单台清洗设备可替代多名人工，降低人工成本；同时，清洗设备采用流水化作业，清洗效率高；且全流程的精准控制喷淋压力、超声频率、清洗液温度、干燥温度等，确保陶瓷基板的清洗质量稳定。