激光开槽的方法及系统

本发明提供一种激光开槽的方法及系统，系统包括：激光光源、光学调制模块、晶圆移动模块和检测补偿模块；激光光源发射出的激光束通过光学调制模块照向晶圆移动模块上的晶圆；晶圆移动模块用于带动晶圆相对激光束移动；光学调制模块用于加载相位全息图；光学调制模块在初始时根据第二工艺参数加载相位全息图，第二工艺参数包括激光束的能量分布；检测补偿模块与光学调制模块通信连接，用于监测激光束在加工点位置处材料飞溅状况，以获得材料飞溅图像，根据材料飞溅图像，控制光学调制模块更新加载的相位全息图，以使激光束在晶圆上开设的槽满足加工要求，加工点为激光束照射在晶圆上的点。本发明能够提高激光束对晶圆进行开槽的质量。