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研磨垫固定用粘着片、带粘着层A的研磨垫、及将研磨垫固定在压板的方法
发明专利有效
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§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
高桥淳; 铃木玲二
IPC 分类
B24B 37/22 (2012.01)B24B 37/20 (2012.01)
本发明提供一种容易进行重贴位置调整、空气排出性优异、粘着物性也优异的、将研磨垫固定在压板的研磨垫固定用粘着片、带粘着层A的研磨垫、及将研磨垫固定在压板的方法。研磨垫固定用粘着片在片状基材的其中一面具有粘着层(A),在另一面具有粘着层(B),与片状基材不相向的粘着层(A)的表面具有凹凸,所述表面的平滑度在贝克平滑度试验中从‑50.7kPa变化为‑48.0kPa的时间为1秒~100秒,从‑50.7kPa变化为‑29.3kPa的时间为15秒~1125秒。
§ Ⅵ
专利附图
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