一种微型手指力三维力传感器

本发明公开了一种微型手指力三维力传感器，整体呈手指最前端的指尖状，包括弹性体、受力转接板、信号处理板、上盖板和下盖板，上盖板采用软材料制备而成，受力转接板挤压装入上盖板且与上盖板的内表面紧贴；下盖板覆盖在弹性体的下端面上且连接弹性体，受力转接板连接弹性体；信号处理板嵌入下盖板内且引线连接弹性体；弹性体包括弹性体轮箍、中心受力台和四根应变梁，四根应变梁均布设置在中心受力台与弹性体轮箍之间，四根应变梁上共设置十二片单晶硅半导体应变片，组成三个惠斯通电桥，分别测量Fx、Fy、Fz这三个方向的力。优点：本发明三维力传感器，体积小、重量轻、测量分辨率高。