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一种由硅钙化合物制备甲硅烷的方法
发明专利有效
10权利要求 · 1 独立
§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
明勇; 向春林; 周大国; 张芥铭; 张聪; 晏涛; 李兵; 庹如刚; 涂嵬
IPC 分类
C01B 33/04 (2006.01)
本发明公开了一种由硅钙化合物制备甲硅烷的方法,属于甲硅烷制备技术领域,将硅钙化合物磨制成粉末后加入反应釜内,加入盐酸进行水解反应,水解反应生成的气体进入吸附净化装置进行吸附净化处理,处理后的混合气进入精馏塔中进行精馏分离提纯,精馏提纯得到甲硅烷产品。本发明利用硅钙化合物制备硅烷气,避免了硅化镁还原法、氢化铝钠法成本高,纯度低的问题,同时也避免了普通歧化法中流程长、能耗较高的缺陷,采用硅钙化合物制备高纯的硅烷产品。
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