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一种合成石英玻璃砣连续沉积方法

发明专利有效
10权利要求 · 1 独立
§ Ⅰ

卷宗概要

发明人

王海亮; 张源; 崔超; 张国武; 张海军; 徐秀杰; 刘利; 杨阳; 张野; 李建新; 辛坤; 王雅明; 雷阳; 高仙羽

IPC 分类

C03B 19/14 (2006.01)C03B 20/00 (2006.01)C03B 33/00 (2006.01)

本发明涉及玻璃沉积技术领域,尤其涉及一种合成石英玻璃砣连续沉积方法,包括,所述第一类石英玻璃砣在出料的过程中进行冷却,基于确定的初始出料速度对第一类石英玻璃砣进行间隔运输,基于运输间隔以初始切割速度将第一类石英玻璃砣切割成第二类石英玻璃砣;周期性检测第二类石英玻璃砣的切割面的粗糙度、质量和体积,同时检测隔离模块的第一温度值和下料时的第二类石英玻璃砣的第二温度值;基于所述质量和体积进行石英玻璃砣合格程度的判定,以重新确定切割速度;本发明能够对沉积的石英玻璃砣进行周期性切割和检测,以在充分调控石英玻璃砣的冷却过程中,确保高品质的石英玻璃砣的连续沉积。

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