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一种高导热稀土掺杂陶瓷靶材及烧结制备方法
发明专利有效
8权利要求 · 2 独立
§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
孔伟华; 马立; 孔磊; 高延红
IPC 分类
C04B 35/10 (2006.01)C04B 35/622 (2006.01)C04B 35/64 (2006.01)
本申请涉及陶瓷靶材的技术领域，具体公开了一种高导热稀土掺杂陶瓷靶材及烧结制备方法。高导热稀土掺杂陶瓷靶材包括如下重量百分比的原料：(Y,Sc)‑Al粉体99.3‑99.7％，AlO纳米粉0.2‑0.5％，氮化硼0.1‑0.2％，所述(Y,Sc)‑Al粉体是Al(OH)Cl·2HO、Y(NO)·6HO、Sc(NO)·4HO通过共沉淀形成的纳米复合粉体。本申请通过采用特定配比的(Y,Sc)‑Al粉体、AlO纳米粉、氮化硼，有助于提高陶瓷靶材的热导率以及在高温环境下的稳定性。
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