一种基于流延成型的碳化硅静电卡盘及其制备方法

本发明公开一种基于流延成型的碳化硅静电卡盘及其制备方法，碳化硅静电卡盘包括有基座、邦定材料层以及陶瓷片；该陶瓷片采用碳化硅原粉、体积电阻调控剂、烧结助剂和球磨添加剂通过流延、压合和烧结形成，并包含有通过丝网印刷制备的发热电极层以及吸附电极层。本发明通过添加体积电阻调控剂的方法调节碳化硅体积电阻率，以满足静电卡盘电介层质的要求，同时配合通过采用流延、压合和烧结工艺，在高温下同时施加压力作用，使得碳化硅陶瓷片各层能够烧结致密且层与层之间具有更高的结合度，有效避免出现分层，之后通过退火处理，有利于排除碳化硅陶瓷中残余杂质，促进陶瓷晶界迁移、晶粒生长均匀化以及气孔消除以提高致密度，释放残余应力。