一种氮化物烧结体与坩埚分离的方法

本发明公开了一种氮化物烧结体与坩埚分离的方法，采用分体式坩埚，所述分体式坩埚包含坩埚上盖、坩埚下盖、坩埚筒体、带凸台的坩埚底，先将带凸台的坩埚底置于坩埚下盖中，然后将坩埚筒体配合安装于坩埚下盖中形成分体式坩埚的侧壁，再将AlN粉末铺设于坩埚底上，然后坩埚筒体上方加盖坩埚上盖完成装料，随后将已装料的坩埚进行两段烧结，冷却后，先依次取出坩埚上盖、坩埚筒体，然后将粘连有AlN烧结体的坩埚底取出，而坩埚下盖直接与坩埚底分离，再将粘连有AlN烧结体的坩埚底通过线切割，即实现AlN烧结体与坩埚底的分离，本发明的方法可以无损的将AlN烧结体与坩埚进行分离，有效降低了因损坏坩埚造成的生产成本上升。