一种低氧含量氮化硅粉体及其制备方法

本发明提供一种低氧含量氮化硅粉体及其制备方法，属于氮化硅制备技术领域；本发明通过采用具有空间位阻基团的胺为原料，合成能抵御水分解侵蚀的“亲氮疏氧”型聚硅氮烷前驱体；利用PEG‑PPG‑PEG将前驱体与催化剂前体共包裹，这既预设了最终粉体的优异分散性，又为后续除碳步骤预埋了催化剂，并通过超临界氨实现温和的低温固化；在分步热解过程中先移除模板以物理隔离颗粒，再激活预埋的催化剂，将固态残碳主动地转化为气体移除；在高温晶化阶段，利用杂质自然偏析至颗粒表面的规律，再辅以高活性的气相化学刻蚀进行表面处理，将固态的氧杂质转化为易挥发的气态产物而移除，确保了最终产品的低氧含量。