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一种磺酸酯类光产酸剂及其制备方法和应用
发明专利有效
10权利要求 · 3 独立
§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
钱彬; 姜超; 张海霞; 张学龙; 王孟雪
IPC 分类
C07D 221/14 (2006.01)G03F 7/004 (2006.01)
本发明提供一种磺酸酯类光产酸剂及其制备方法和应用，所述磺酸酯类光产酸剂具有通式(I)所示结构，本发明的光产酸剂不含氟，且其光解生成的磺酸酸性不弱于传统含氟光酸。以解决现有的磺酸酯类光产酸剂存在酸根含氟，不含氟酸根酸性弱的问题，并且本发明的磺酸酯类光产酸剂能够提高感光组合物的感光性和解像性。
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