一种电子级三（二甲氨基）硅烷的生产工艺

本发明涉及有机化学合成领域，公开了一种电子级三（二甲氨基）硅烷的生产工艺，包括以下步骤：S1：硅烷经分子筛脱水至水分≤1ppm，金属杂质≤5ppb；二甲胺气体通过‑30℃深冷捕集器去除重组分杂质；S2：在耐压反应釜中，利用催化剂催化硅烷与二甲胺反应：S3：①初级精馏：60℃减压蒸馏，压力≤10kPa，去除低沸物；②吸附纯化：经3A分子筛与活性炭复合床层，脱除微量水分及有机物，制备得到电子级三（二甲氨基）硅烷，本发明制备的产品纯度≥99.999%，金属杂质≤50ppb，氧含量≤20ppm，且收率提升至97%以上，能耗降低40%，适用于半导体ALD/CVD工艺前驱体。