三（三甲基硅基）磷酸酯及其制备方法

本申请公开了一种三（三甲基硅基）磷酸酯及其制备方法，属于化学合成领域。三（三甲基硅基）磷酸酯的制备方法，包括：三（三甲基硅基）磷酸酯的制备方法，包括：将六甲基二硅氧烷与五氟化磷在搅拌条件下，加热反应，得到三（三甲基硅基）磷酸酯，所述六甲基二硅氧烷与所述五氟化磷的物质的量之比为（5～10）：1。本申请以五氟化磷替代五氯化磷，由于氟原子半径小、电负性大，使磷正电性高且空间位阻小，因此五氟化磷更易与六甲基二硅氧烷反应，无需催化剂，可以大幅降低三（三甲基硅基）磷酸酯的成本，且三（三甲基硅基）磷酸酯的收率较高。