一种二氟磷酸硅酯类化合物及其制备方法

本申请实施例提供了一种二氟磷酸硅酯类化合物及其制备方法，在氯硅烷类化合物与二氟磷酸盐的反应中，将氯硅烷类化合物与二氟磷酸盐的摩尔比设置为大于或等于2，同时将反应温度控制在小于或等于40℃。一方面，当同时控制以上参数，氯硅烷类化合物与水的反应优先于氯硅烷类化合物与二氟磷酸盐的反应，减少水对二氟磷酸硅酯类化合物的影响；另一方面，二氟磷酸硅酯类化合物能够与过量的氯硅烷类化合物形成络合作用，从而使得氯硅烷类化合物对二氟磷酸硅酯类化合物形成保护作用，使得二氟磷酸硅酯类化合物不易水解，提高反应的转化率和二氟磷酸硅酯类化合物的收率。