返回搜索
档案
用于薄膜沉积的钒前体化合物及利用该化合物形成含钒薄膜的方法
发明专利有效
12浏览
15权利要求 · 2 独立
§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
崔雄辰; 金健熙; 白善英; 金信范; 池成俊; 李太荣; 曺圭镐
IPC 分类
C07F 17/00 (2006.01)C23C 16/455 (2006.01)C23C 16/44 (2006.01)
本公开的实施方案提供了一种由化学式1或2表示的钒前体化合物。(在化学式1中，R、R、R和R各自独立地选自氢、具有1至6个碳原子的直链烷基和具有3至4个碳原子的支链烷基，且在化学式2中，n为0至4的整数，含钒元素的环为杂环烷基或杂环烯烃基，R、R、R、R、R和R各自独立地选自氢、具有1至6个碳原子的直链烷基和具有3至6个碳原子的支链烷基。)
§ Ⅵ
专利附图
正在加载图片…