抗粘连氟硅橡胶混合物及制作方法

本发明涉及半导体领域，其公开了一种抗粘连氟硅橡胶混合物及制作方法，所述抗粘连氟硅橡胶混合物，以抗粘连氟硅橡胶混合物为100重量份计，包括：氟硅橡胶，100重量份；白炭黑，10‑30重量份；羟基硅油，3‑10重量份；2,5‑二甲基‑2,5‑二己烷，1‑5重量份；PFA树脂，3‑20重量份。本发明通过在氟硅橡胶基体中引入可控含量的PFA树脂微颗粒，并配合过氧化物交联与后热处理，实现“内建型”抗粘连界面，兼顾长期耐热、耐介质与低剥离力，解决了氟硅橡胶长期贴合基材易粘连的技术问题。